本规范适用于微小孔径测量仪的校准,该测量仪用于测量范围为(ϕ0.1~ϕ1)mm、深度不超过3mm、深径比不大于9∶1的微孔和测量范围为(ϕ1~ϕ20)mm、深度不超过150mm、深径比不大于13∶1的小孔的测量。