本标准规定了高纯石英中铝、钡、钙、钴、铬、铜、铁、钾、锂、镁、锰、钠、镍、磷、钛、钒、锌等17种杂质元素含量的电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）测定方法。
　　本标准适用于二氧化硅含量范围为99.9%~99.999%的高纯石英原料及其制品中铝、钡、钙、钴、铬、铜、铁、钾、锂、镁、锰、钠、镍、磷、钛、钒、锌等17种元素的测定。