本标准规定了电子柱气电测微仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法、标志与包装等。
本标准适用于分辨力为0.2μm、0.5μm、1μm，以电子柱（发光单元）显示的电子柱气电测微仪。