本标准规定了冷阴极电离真空计的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等内容。
本标准适用于测量压力大于1×10-7 Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离规管配套使用的冷阴极电离真空计。