本标准规定了原位纳米压痕/划痕测试仪的术语和定义及符号、技术要求、检验方法、检验规则、标志与包装。
本标准适用于通过成像装置进行原位监测的固体材料原位压痕硬度、划痕硬度和材料参数试验用的原位纳米压痕/划痕测试仪（以下简称测试仪)。