JB∕T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991