本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。
　　本标准适用于极限压力在5×10-4Pa～5×10-3Pa范围的真空蒸发镀膜设备。