本文件规定了低能射线装置的放射防护要求。
本文件适用于能量从5keV至1MeV的X射线衍射仪、X射线荧光分析仪、离子注入装置、电子束焊机、静电消除器、电子显微镜、测厚仪、称重仪、测孔径仪、测密度仪等射线装置。