T/ZACA 047-2022 电镀金刚石线锯
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本文件规定了电镀金刚石线锯(以下简称金刚石线锯)的术语和定义、产品规格、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于标称直径35μm、38μm的硅片用电镀金刚石线锯。
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