本文件规定了离子色谱（IC）法测定碳化硼-碳化硅芯块中无机阴离子（F-、Cl-、Br-、I-）含量的原理、试剂或材料、仪器和设备、分析步骤、精密度等内容。
本文件适用于碳化硼-碳化硅芯块材料中4种无机阴离子（F-、Cl-、Br-、I-）的测定。
当进样量为25 μL时，本方法4种无机阴离子的方法检出限见表1。
表1 方法检出限
离子名称 F- Cl- Br- I-
方法检出限（μg/g） 0.04 0.08 0.2 0.5