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T/SCS 000012-2021 碳化硼-碳化硅芯块 微量元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法  下载

本文件规定了电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)法测定碳化硼-碳化硅芯块中微量元素的方法。
本文件适用于碳化硼-碳化硅芯块材料中铝(Al)、钡(Ba)、钙(Ca)、铬(Cr)、铁(Fe)、铪(Hf)、镁(Mg)、镍(Ni)、锶(Sr)、钛(Ti)等10种元素的测定。
各元素的方法检出限以及推荐分析谱线参见附录A。

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