本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和订货单（或合同）内容等方面的内容。
本文件柱状多晶硅锭适用于刻蚀机中的硅部件产品。