本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。
本文件适用于超快激光精密微纳加工设备（以下简称微纳加工设备）的研制、生产和交付。