本标准规定了4H 及6H 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度的无损光学测量方法，表面质量包括划痕、凹坑、凸起、颗粒等。
本标准适用于经化学机械抛光及最终清洗工序的碳化硅单晶抛光片，抛光片直径为50.8mm、76.2 mm、100.0 mm、150.0 mm，厚度为300 μm~1000 μm。