本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义,产品分类.技术要求、试验方法、检测规则以及标志,包装、运输、贮存等。
本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。