T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶
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本标准规定了4H及6H碳化硅单品必要的相关术语、产品外类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。
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