本规范规定了朗缪尔单探针等离子体测试仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。
本规范适用于电子密度范围1012m3~1018m3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。