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T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法  下载

本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。
本文件适用于少数载流子寿命为20 ns~200 μs 的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。

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