本文件规定了光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲的生产和检验。