本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同 (或订货单)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延生长用三氯氢硅。