JIS B9960-33-2012 机械安全性.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备要求 
Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33
JIS B9960-33-2012 機械類の安全性－機械の電気装置－第３３部：半導体製造装置に対す.rar