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JB/T 12585-2016 真空技术 磁悬浮分子泵  下载

本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。

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