本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置〉和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。